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事件：

公司发布2023年半年度业绩报告。上半年，公司实现营业收入25.27亿元，同比增长28.13%；归母净利润10.03亿元，同比增长114.40%；扣非净利润5.19亿元，同比增长17.75%；基本每股收益1.63元/股。

收入维持快速增长

上半年，公司刻蚀设备、MOCVD设备在客户市场继续保持领先优势，营业收入分别为17.22亿元、2.99亿元，同比增长32.53%、24.11%；此外公司备品备件及服务收入达到5.05亿元，同比增长约17.13%，占营收比重约为19.98%。从盈利能力来看，上半年公司毛利率、净利率分别为45.89%、39.67%，净利率同比大幅增长主要原因系公司出售部分持有拓荆科技股权产生的投资收益4.77亿元。单季度来看，23Q2公司实现营业收入13.03亿元，同比增长27.46%，环比增长6.57%；归母净利润7.28亿元，同比增长107.53%，环比增长164.23%。

产品研发及客户拓展顺利

23H1公司研发投入4.60亿元，同比增长32.96%，研发投入占营业收入的比例为18.22%。公司通过自主研发或投资布局了刻蚀、薄膜和量测三类半导体设备。刻蚀设备方面，两类核心设备取得重大突破：用于大马士革工艺的CCP刻蚀机SD-RIE已经进入客户验证阶段，超高深宽比刻蚀机UD-RIE也已经在客户端验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的能力。MOCVD设备方面，Mini-LED领域产品持续服务客户，Micro-LED的专用MOCVD设备正在开发中，未来有望在Mini、Micro-LED时代继续保持领先优势。此外，公司首台CVD钨设备目前处于客户端验证中，开发的新型号CVD钨和ALD钨设备也已通过关键客户实验室测试，首台量产验证机正在客户端进行测试。

盈利预测、估值与评级

考虑到公司盈利能力随着收入规模提升而改善，我们预计公司2023-2025年营业收入分别为61.17/80.98/104.02亿元，同比增速分别为29.06%/32.38%/28.45%，归母净利润分别为17.33/19.88/24.67亿元（23-24年原值为13.66/17.29亿元），同比增速分别为48.15%/14.72%/24.08%，EPS分别为2.80/3.22/3.99元/股，3年CAGR为28.23%。鉴于公司是国内刻蚀设备龙头，参照可比公司估值，我们给予公司2023年55倍PE，目标价154.18元，维持“增持”评级。

风险提示：晶圆厂扩产进度不及预期；新品研发、验证进度不及预期等。